無(wú)塵潔凈車(chē)間(Clean Room),亦稱(chēng)為無(wú)塵室,潔凈室或無(wú)塵車(chē)間。它是污染控制的基礎。沒(méi)有無(wú)塵潔凈室,污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在 FED-STD-2里面,無(wú)塵潔凈室被定義為具備空氣過(guò)濾、分配、優(yōu)化、構造材料和裝置的房間,其中特定的規則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當的微粒潔凈度級別。
更新時(shí)間:2022-05-01
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